產品名稱: |
PARTICLE TRAP前製程粉体捕集裝置 |
特點: |
實績照片 |
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| Etching |
CVD |
Implantation |
| 工作原理 |
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CVD、Dry Etch
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裝置所產生之微粒，粒徑從數百μm至1μm以下極細微皆有。要確實去除如此寬廣分佈之粉體，非一般技術所能辦到。 |
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| “New TRAPPACK” |
是針對各種不同製程所產生之粉體處理所研發，能確實有效地解決微粒所產生的困擾。 |
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| :: Element的原理 ::
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| Coil Element and TRAPPACK Element , 上述兩種Element原理，均是採用磁性纖維將粉体牢牢的吸附於Element表面.
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磁性纖維放大圖(800倍)
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大捕集量型(渦卷式Element) |
(渦卷氣流流向示意圖) |
| 排氣Gas從 1. 外側渦卷流入，經數道渦卷迴旋，最後到達
5. 中央排出。每層渦卷壁外側遍佈特殊Magnet fiber，排氣Gas中混雜之粉體經渦卷的迴旋向外壁衝撞附著，粉體被吸附在Magnet
fiber上持續增厚。 |
| 渦卷狀之設計及遍佈於外壁之特殊Magnet fiber的有效組合，在不影響傳導(壓損)的情形下將細微粉體大量捕集。 |
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精密捕集型(TRAPPACK Element) |
(Magnet fiber粉體吸附圖) |
| TRAPPACK Element是為了精確地捕捉極細微粉體而設計。 |
| Magnet fiber加工成低密度圓筒狀設置於渦卷捕集部上側。排氣Gas中極細微粉體從圓筒狀外側向內側通過時，會被眾多Magnet
fiber所吸附。TRAPPACK Element為三次元之立體構造，沒有過濾性網目捕集易堵塞之缺點，不易影響排氣傳導(壓損)，吸附細微粉體愈多變得粗大也不改其吸附細微粉體的優越性能。 |
| Combination
Type (精密捕集型) |
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| Coil
Type (大量捕集型) |
規格: |
| 特長 |
設備利益 |
| 1.溫度驟降：粉體易形成 |
1.降低Dyr Pump後段配管閉塞 |
| 2.速度變慢：粉體易形成 |
2.減輕Local Scrubber負荷、減少清掃等作業 |
| 3.延長路徑：捕集效率高 |
3.降低Dyr Pump停機頻率、減少再啟動之困擾 |
| 4.旋轉磨擦：粉體易附著 |
4.降低Dyr Pump噪音 |
| 5.磁性纖維：吸附粉體多 |
5.防止粉塵閉塞、腐蝕所引起的危險 |
| 6.粉體靠邊：排氣很順暢 |
6.減少配管定期清掃作業之人事費用 |
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7.提昇裝置稼動率 |
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| 這是 PARTICLE TRAP前製程粉体捕集裝置 的產品詳細資訊，其中包括 PARTICLE TRAP前製程粉体捕集裝置 的型號、名稱、敘述和規格。 Related Keywords : PARTICLE TRAP |
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