產品名稱: |
GUARDIAN燃燒式排氣處理裝置 |
描述: |
| :: 特點 |
| 1. |
獨立燃燒方式，完全燃燒之火焰渦流 |
| 可燃性毒性氣體從低濃度至100%濃度均可用高溫處理 |
| 2. |
SiH4與NF3、NO2同時燃燒 |
| SiH4與NF3、NO2可以同時於燃燒室中一起 燃燒。 |
| 3. |
基本功能之安全設計 |
| 異常情況發生時，診斷機能會自動安全處理 |
| 4. |
使用刮刀方式，粉塵處理容易 |
| 燃燒室內部之附著粉塵，可使用獨立之刮刀容易且確實地清除。 |
| 5. |
H2、LPG、天然瓦斯(LPG)各種型式 |
| 燃料氣體可使用H2、LPG、天然瓦斯(LPG)3 種型式 |
| 6. |
保養簡單 |
| 保養可在極短的時間內完成，費用也低廉。 |
| 7. |
高信賴性 |
| 構造簡單且零件數少，值得高度信賴。 |
半導體製造過程中用來燃燒分解可燃性氣體，毒性氣體之燃燒式排氣處理裝置。
| :: 處理氣體種類 |
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SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、有機金屬、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O。 |
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| :: 處理原理 |
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冷卻空氣之一部份在燃燒室內形成火焰渦流，製程氣體會完全捲入燃燒。 |
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Guardian之火焰渦流可將SiH4等氣體，破壞其氣泡產生。 |
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冷卻空氣在機台內部循環，燃燒室外部使用空氣冷卻。並可使排氣溫度冷卻下降，而且可將燃燒後之氧化物排出等多樣功能。 |
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熱電對之安全裝置，可監視燃燒室溫度、排氣溫度、Process
Gas導入管溫度。另外Photo sensor可監視熄火，差壓計可檢視排氣風量。 |
:: 自我診斷功能
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項 目 |
狀 況 異常 |
類別 |
| 燃燒室溫度
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高 溫 |
重度異常 |
| 燃燒室溫度
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低 溫 |
輕度異常 |
| 排氣溫度 |
高 溫 |
重度異常 |
| 排氣風量 |
低 下 |
重度異常 |
| 熄 火 |
熄 火 |
重度異常 |
| 回 火 |
回 火 |
重度異常 |
| 燃料壓力 |
低 下 |
重度異常 |
| CDA壓力 |
低 下 |
重度異常 |
| N2
壓力 |
低 下 |
輕度異常 |
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| 這是 GUARDIAN燃燒式排氣處理裝置 的產品詳細資訊，其中包括 GUARDIAN燃燒式排氣處理裝置 的型號、名稱、敘述和規格。 Related Keywords : GUARDIAN |
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