懷康科技股份有限公司

懷康科技公司係由林世商及其幹部們於本世紀第一天成立，她是一家以科技服務為主軸的國際貿易及代理公司。「懷康」之名係取其懷著健康的態度經營企業；懷著健康的態度服務客戶之意。本公司之主要營業項目在於提供半導體、液晶及PCB相關業界所須要之先端設備及材料，尤其是半導體、TFT-LCD前段製程氣體處理方面更是不遺餘力，本公司也致力廢水及廢棄物處理設備、藥劑之環保科技貿易，祈能貨暢其流，並提供更好的服務及解決問題的方案，善盡社會一份子的責任。

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氣體燃燒設備

這個類別包含詳細的資訊為 氣體燃燒設備 產品。 氣體燃燒設備 產品將被更新和增加入這個類別。

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( GUARDIAN燃燒式排氣處理裝置 )

:: 特點
1.	獨立燃燒方式，完全燃燒之火焰渦流
	可燃性毒性氣體從低濃度至100%濃度均可用高溫處理
2.	SiH4與NF3、NO2同時燃燒
	SiH4與NF3、NO2可以同時於燃燒室中一起燃燒。
3.	基本功能之安全設計
	異常情況發生時，診斷機能會自動安全處理
4.	使用刮刀方式，粉塵處理容易
	燃燒室內部之附著粉塵，可使用獨立之刮刀容易且確實地清除。
5.	H2、LPG、天然瓦斯(LPG)各種型式
	燃料氣體可使用H2、LPG、天然瓦斯(LPG)3 種型式
6.	保養簡單
	保養可在極短的時間內完成，費用也低廉。
7.	高信賴性
	構造簡單且零件數少，值得高度信賴。

半導體製造過程中用來燃燒分解可燃性氣體，毒性氣體之燃燒式排氣處理裝置。

:: 處理氣體種類

SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、有機金屬、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O。

:: 處理原理

燃燒原理

系統構成

冷卻空氣之一部份在燃燒室內形成火焰渦流，製程氣體會完全捲入燃燒。

Guardian之火焰渦流可將SiH4等氣體，破壞其氣泡產生。

冷卻空氣在機台內部循環，燃燒室外部使用空氣冷卻。並可使排氣溫度冷卻下降，而且可將燃燒後之氧化物排出等多樣功能。

熱電對之安全裝置，可監視燃燒室溫度、排氣溫度、Process Gas導入管溫度。另外Photo sensor可監視熄火，差壓計可檢視排氣風量。

:: 自我診斷功能

項目	狀況異常	類別
燃燒室溫度	高溫	重度異常
燃燒室溫度	低溫	輕度異常
排氣溫度	高溫	重度異常
排氣風量	低下	重度異常
熄火	熄火	重度異常
回火	回火	重度異常
燃料壓力	低下	重度異常
CDA壓力	低下	重度異常
N2 壓力	低下	輕度異常

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